Puolijohde ruostumattomasta teräksestä: 316L vim-var vs . 904 l

 

Miksi tyhjiö sulaa 316L kiekkotyökaluille?
VIM-Var (tyhjiöinduktio sulatettu-tyhjiökaari uudelleen) vähentää sulkeumia<5 particles/cm² >0 . 3μm. Kaasupitoisuus (O₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

Milloin 904L on määritelty märillä penkillä?
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 estää korroosion ultrapitagessa vedessä (18 MΩ · cm resistiivisyys) .

 

Kuinka pintakäsittelyt estävät saastumisen?
Sähköpolvisointi poistaa 10-15 μm Työvahvistetun kerroksen . laseriskin peenain

 

Kriittiset toleranssit kaasun toimitusjärjestelmille?
Sisäinen pinta RA Alle tai yhtä suuri kuin 0 . 13μm. Vuodonopeus<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0 . 1μm lineaarista jalkaa kohti.

 

Puhdashuoneiden komponenttien validointitestaus?
SEM-EDS-analyysi sisällyttämiskartoitusta . ICP-MS metalli-ionin huuhtoutumiseen (Na⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.